進口板式高濃度臭氧發(fā)生器AbsoluteOzone Apex H30

同林臭氧二十年臭氧經(jīng)驗，現(xiàn)貨供應，官方授權代理商，專業(yè)技術維修團隊，免費提供專業(yè)臭氧方案
 加拿大Absolute Ozone Apex H30 臭氧發(fā)生器，適用于需要高濃度臭氧的實驗室應用，ALD、PLD、MBE、CVD等；以及任何含臭氧的水處理應用，因為臭氧在高濃度下具有高溶解度。

Apex H30臭氧發(fā)生器是一款專為半導體和ALD（原子層沉積）應用設計的高效臭氧發(fā)生器。其主要特點包括：

高臭氧產(chǎn)量：僅需4 SLPM氧氣即可產(chǎn)生30 g/h的臭氧，適合高濃度需求。

高臭氧濃度：臭氧濃度可達22 wt%（310 mg/L），滿足半導體和ALD實驗的高純度要求。

低流量氧氣需求：僅需4 SLPM氧氣，節(jié)省氣源成本。

耐壓范圍廣：標準耐壓15-35 PSI，可選高壓15-85 PSI，適應多種實驗條件。

模塊化設計：支持臺式或機架安裝，可擴展至5 kg/h以上。

緊湊尺寸：體積小巧（35.5*38*17.8 cm），適合實驗室空間有限的環(huán)境。

風冷設計：無需冷卻水，在高溫環(huán)境（+35℃）下也能穩(wěn)定運行。

遠程控制：支持遠程臭氧輸出控制，操作便捷。

特點

高純度臭氧輸出：該設備通常具備高精度的臭氧濃度控制，確保臭氧純度，適合對氣體純度要求高的實驗。

穩(wěn)定性和可靠性：采用先進技術和高質(zhì)量材料，確保長時間穩(wěn)定運行，減少實驗中斷風險。

精確控制：具備精確的流量和濃度控制功能，滿足ALD實驗中對氣體流量和濃度的嚴格要求。

低維護成本：設計上注重耐用性和易維護性，降低長期使用中的維護和更換成本。

安全性：配備多重安全保護機制，如過載保護、泄漏檢測等，確保實驗安全。

緊湊設計與易安裝性：小巧尺寸和模塊化設計適合空間有限的實驗室環(huán)境。

風冷技術：無需冷卻水，降低運行成本，適合長期使用。

技術支持與售后服務：北京同林提供完善的技術支持和售后服務，幫助用戶解決使用中的問題。

適用場景

原子層沉積（ALD） ：作為高純度臭氧前驅(qū)體源，提供穩(wěn)定的氧化環(huán)境

化學氣相沉積（CVD） ：高濃度臭氧輔助薄膜沉積

分子束外延（MBE） ：強氧化劑替代純氧，降低生長溫度

脈沖激光沉積（PLD） ：氧化物薄膜生長的臭氧源

高濃度臭氧水制備（配套臭氧水機可達50mg/L以上）

工業(yè)氧化反應與材料表面處理

相關型號

高濃度版 Apex H30

耐高壓版 Prime P30

常見問題FAQ

Q1：22wt%是什么概念？

A：22wt%≈300g/Nm3≈140000ppm，是常規(guī)氧氣源臭氧發(fā)生器濃度的10倍以上。換算關系：g/Nm3 → wt% ÷14.3；ppm → mg/Nm3 ×2.14。

Q2：Apex H30與國產(chǎn)高濃度臭氧發(fā)生器有什么區(qū)別？

A：Apex H30采用Absolute Ozone板式放電技術，濃度上限更高（22wt% vs 國產(chǎn)通常在7wt%左右），脈寬調(diào)制控制更精準，適合ALD/CVD等對濃度穩(wěn)定性要求高的場景。

Q3：用于ALD時需要配套哪些設備？

A：典型配置包括：質(zhì)量流量控制器（MFC）精確控制流量、臭氧濃度檢測儀（推薦3S-J5000紫外吸收法）實時監(jiān)測、耐腐蝕管路及接頭、尾氣分解裝置。詳細方案可咨詢技術支持。

Q4：可以連續(xù)工作嗎？

A：可以連續(xù)工作。風冷款建議在通風良好的環(huán)境中使用。

Q5：設備維修怎么處理？

A：同林科技為Absolute Ozone中國總代理，提供原廠配件和維修服務。

詳細介紹

Absolute臭氧發(fā)生器成為北京同林臭氧專業(yè)實驗站的新成員